21世紀(jì)經(jīng)濟(jì)報(bào)道記者倪雨晴 無(wú)錫、深圳報(bào)道

(資料圖)

隨著國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈布局深入，上游設(shè)備的關(guān)注度快速上升。今年半導(dǎo)體設(shè)備的業(yè)內(nèi)盛會(huì)，不論從規(guī)模還是熱度都更勝往年。

近日，在2023年中國(guó)電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會(huì)半導(dǎo)體設(shè)備年會(huì)暨產(chǎn)業(yè)鏈合作論壇上，參展企業(yè)數(shù)量較上屆翻了2.7倍，展示面積則為上屆的3.5倍。

現(xiàn)場(chǎng)，設(shè)備廠商、上下游企業(yè)、投資人、分析師等匯聚一堂，多位與會(huì)者向記者感慨，今年展會(huì)的規(guī)模超出以往，未預(yù)料到細(xì)分領(lǐng)域的半導(dǎo)體設(shè)備也吸引如此多的參與者。

展會(huì)增長(zhǎng)的數(shù)據(jù)從側(cè)面反映，中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備廠商的隊(duì)伍正在逐步壯大，市場(chǎng)需求不斷增加。中國(guó)電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會(huì)理事長(zhǎng)、北方華創(chuàng)科技集團(tuán)股份有限公司董事長(zhǎng)趙晉榮談道，半導(dǎo)體設(shè)備是支撐電子行業(yè)發(fā)展的基石，中國(guó)半導(dǎo)體市場(chǎng)在過去11年來(lái)也規(guī)模化持續(xù)發(fā)展。尤其是近年來(lái)在日益復(fù)雜的國(guó)際形勢(shì)下，本土設(shè)備業(yè)更是取得了突破性的進(jìn)步。

但是設(shè)備產(chǎn)業(yè)依然挑戰(zhàn)重重。中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司董事長(zhǎng)兼首席執(zhí)行官尹志堯表示，半導(dǎo)體設(shè)備要超前半導(dǎo)體制造3~5年開發(fā)新一代產(chǎn)品，雖然我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備經(jīng)過不斷努力，已經(jīng)取得了長(zhǎng)足的進(jìn)步，但外國(guó)設(shè)備仍占國(guó)內(nèi)設(shè)備采購(gòu)的85%左右。

多位半導(dǎo)體投資者則向21世紀(jì)經(jīng)濟(jì)報(bào)道記者表示，近兩年半導(dǎo)體設(shè)備和材料都是重點(diǎn)賽道，但是國(guó)產(chǎn)化依然任重道遠(yuǎn)。

產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展

近年來(lái)國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)一直面臨著外部的打壓，近期美國(guó)又在投資領(lǐng)域進(jìn)行限制。

對(duì)此，尹志堯總結(jié)認(rèn)為，這一新政可以算是美國(guó)的“第十六招”，“目的是限制我們的集成電路和國(guó)外至少5代的差距。”

嚴(yán)峻的環(huán)境疊加國(guó)內(nèi)市場(chǎng)的推動(dòng)，國(guó)內(nèi)的半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)加速前行。據(jù)中國(guó)電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會(huì)對(duì)中國(guó)大陸77家主要半導(dǎo)體設(shè)備制造公司（年銷售收入1000萬(wàn)元以上）的統(tǒng)計(jì)，2022年中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備的銷售收入完成了593.0億元，同比增長(zhǎng)53.6%；半導(dǎo)體設(shè)備出口交貨值70.8億元，同比增長(zhǎng)119.2%；總利潤(rùn)達(dá)到149.5億元，同比增長(zhǎng)66.1%。

其中，2022年前十家設(shè)備制造商完成銷售收入438億元，占77家合計(jì)收入73.9%。目前我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備及零部件企業(yè)的數(shù)量也已經(jīng)超過200家。

拉長(zhǎng)時(shí)間段看，從2019年到2022年，中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備銷售收入從175.1億元增長(zhǎng)到593億元人民幣，年均增長(zhǎng)率達(dá)到了48.3%。細(xì)分賽道中，集成電路設(shè)備銷售收入2022年達(dá)到319億元，同比增長(zhǎng)86.1%，是所有賽道中增長(zhǎng)速度最快，也是實(shí)現(xiàn)銷售收入最多的市場(chǎng)；同時(shí)集成電路設(shè)備也是出口交貨值最大的賽道。

中國(guó)電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會(huì)常務(wù)副秘書長(zhǎng)金存忠表示，在海外政策持續(xù)升級(jí)對(duì)華半導(dǎo)體管制背景下，下游用戶擔(dān)心未來(lái)斷供等風(fēng)險(xiǎn)，使用國(guó)產(chǎn)設(shè)備的意愿更加強(qiáng)烈，進(jìn)一步推動(dòng)了國(guó)產(chǎn)設(shè)備發(fā)展，同時(shí)，核心部件替代進(jìn)口也加快了設(shè)備產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程，設(shè)備核心部件國(guó)內(nèi)供應(yīng)鏈正在形成并得到快速發(fā)展。

根據(jù)協(xié)會(huì)統(tǒng)計(jì)，以銷售額為統(tǒng)計(jì)口徑，2022年國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備在中國(guó)市場(chǎng)占有率為23%，同比增長(zhǎng)3.4個(gè)百分點(diǎn)；同時(shí)，在國(guó)產(chǎn)設(shè)備市場(chǎng)占有率提升背景下，海關(guān)數(shù)據(jù)顯示，去年主要半導(dǎo)體設(shè)備中國(guó)進(jìn)口額同比減少8.1%。其中，等離子體干法刻蝕機(jī)、化學(xué)氣相沉積設(shè)備(CVD)以及氧化、擴(kuò)散、退火及其他熱處理爐進(jìn)口規(guī)模位居前三，分別同比減少12.7%、11.9%和9.6%。

“預(yù)計(jì)2023年中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備進(jìn)口額會(huì)繼續(xù)減少。”金存忠介紹，海關(guān)統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)顯示，今年上半年中國(guó)主要半導(dǎo)體設(shè)備進(jìn)口額為72.94億美元，同比減少13.3%。除分步重復(fù)光刻機(jī)、集成電路工廠專用自動(dòng)搬運(yùn)機(jī)器人、研磨機(jī)和切割設(shè)備外，其余設(shè)備全部負(fù)增長(zhǎng)，等離子體干法刻蝕機(jī)上半年進(jìn)口額甚至同比減少近三成。

相比設(shè)備進(jìn)口額預(yù)降，國(guó)產(chǎn)主要半導(dǎo)體設(shè)備制造商訂單有望穩(wěn)步增長(zhǎng)。據(jù)協(xié)會(huì)預(yù)測(cè)，2023年國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備銷售收入增長(zhǎng)38%左右，將達(dá)到817億元。其中，集成電路設(shè)備預(yù)計(jì)增長(zhǎng)40%，達(dá)到450億元；其次第二大細(xì)分板塊太陽(yáng)能電池片設(shè)備預(yù)計(jì)增長(zhǎng)35%，達(dá)到310億元。

突破與挑戰(zhàn)

一方面，國(guó)內(nèi)設(shè)備廠商正不斷崛起，包括北方華創(chuàng)、盛美半導(dǎo)體、中微公司、上海微電子裝備等半導(dǎo)體設(shè)備龍頭企業(yè)。

即使當(dāng)前半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)處于低潮期，多家上市的設(shè)備公司仍逆勢(shì)增長(zhǎng)。盛美上海公告顯示，2023年上半年公司實(shí)現(xiàn)凈利潤(rùn)約4.39億元，同比增長(zhǎng)85.74%；北方華創(chuàng)預(yù)計(jì)今年上半年實(shí)現(xiàn)歸母凈利潤(rùn)16.7億元~19.3億元，同比增長(zhǎng)121.30%~155.76%；中微公司預(yù)計(jì)今年半年度實(shí)現(xiàn)歸母凈利潤(rùn)9.8億元~10.3億元，同比增加109.49%~120.18%。

增長(zhǎng)的背后是各公司在多個(gè)賽道進(jìn)行了突破。趙晉榮指出，過去幾年，國(guó)內(nèi)多家龍頭骨干裝備企業(yè)在刻蝕、薄膜、清洗、注入、CMP及封裝測(cè)試等關(guān)鍵設(shè)備方面取得了突破。本土從事材料零部件的龍頭企業(yè)也呈現(xiàn)出快速增長(zhǎng)的趨勢(shì)，在射頻電源、流量計(jì)、機(jī)械手、真空泵、重點(diǎn)檢測(cè)及精密加工精密陶瓷、精密石英、高純石墨、高純板材、特種不銹鋼及精細(xì)化工材料等方面都取得了突破性的進(jìn)展。

另一方面，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備的成長(zhǎng)還要面對(duì)重重挑戰(zhàn)。產(chǎn)業(yè)周期層面，多位業(yè)內(nèi)人士向21世紀(jì)經(jīng)濟(jì)報(bào)道記者指出，當(dāng)前在半導(dǎo)體周期底部，一些中下游制造企業(yè)在縮減資本開支，所以接下來(lái)對(duì)于硬件設(shè)備的需求會(huì)帶來(lái)一定的影響。

在產(chǎn)業(yè)化方面，中國(guó)電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會(huì)副秘書長(zhǎng)、積塔半導(dǎo)體(上海)有限公司總工程師李晉湘表示，半導(dǎo)體設(shè)備的研發(fā)和大規(guī)模生產(chǎn)應(yīng)用完全不同，其中良率至關(guān)重要，如果沒有95%以上的良率，成本就不能降下來(lái)。

具體到國(guó)內(nèi)的情況，李晉湘指出，我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備廠商正面臨三個(gè)挑戰(zhàn)：一是缺乏某類設(shè)備，不能形成體系化生產(chǎn)流程；二是設(shè)備齊全，但特殊工藝要求無(wú)法滿足；三是設(shè)備和工藝雖然完善，但關(guān)鍵工藝不穩(wěn)定、不可靠。

同時(shí)，他還提到一個(gè)痛點(diǎn)，即一些需求量少難度大的設(shè)備，國(guó)內(nèi)設(shè)備廠家不愿意做。雖然從經(jīng)濟(jì)和技術(shù)難度上考量，設(shè)備廠商不做無(wú)可厚非，“但是競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手在打包賣設(shè)備，把量少難度大和量大簡(jiǎn)單的設(shè)備綁在一起，也會(huì)對(duì)國(guó)產(chǎn)設(shè)備產(chǎn)生影響，如果不解決這個(gè)問題，量大容易做的設(shè)備也會(huì)被擠掉。”李晉湘說道。

此外，尹志堯還提到了競(jìng)爭(zhēng)層面的問題，在他看來(lái)，惡性競(jìng)爭(zhēng)的內(nèi)卷是產(chǎn)業(yè)發(fā)展的絆腳石。比如用各種方式非法獲得競(jìng)爭(zhēng)者的商業(yè)機(jī)密；企業(yè)買了供應(yīng)廠商的設(shè)備，自己也開發(fā)設(shè)備，利用便利抄襲；不靠產(chǎn)品技術(shù)的先進(jìn)性，而是靠降低價(jià)格，甚至降到成本價(jià)以下，不惜虧本競(jìng)爭(zhēng)；盲目重復(fù)的投資造成了內(nèi)卷和低成功率等等。

所以他建議需要政府和行業(yè)制定一些公平競(jìng)爭(zhēng)的法則和規(guī)范，降低內(nèi)耗，防止惡性競(jìng)爭(zhēng)來(lái)促進(jìn)產(chǎn)業(yè)的健康發(fā)展。

最后展望未來(lái)，對(duì)于2023年的國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備，中國(guó)電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會(huì)常務(wù)副秘書長(zhǎng)金存忠介紹了三個(gè)趨勢(shì)：2023年國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備銷售有望繼續(xù)保持增長(zhǎng)；2023年中國(guó)大陸半導(dǎo)體設(shè)備進(jìn)口繼續(xù)減少；主要半導(dǎo)體設(shè)備制造商訂單穩(wěn)步增長(zhǎng)。

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